超精密toyo滑臺的裝配

通常來說，超精密toyo滑臺主要是由基座、導軌、光柵尺以及上滑臺等多個部分所構成。這些構件在出廠時，一般都是分開運輸的，需要在使用現場進行組裝。而在其裝配的過程中，比較重要的裝配工作就是基座導軌直線度的測量和導軌的裝配，這兩個部分的裝配精度會對toyo滑臺的定位精度造成直接的影響。

一、基座導軌直線度的測量

超精密toyo滑臺基座直線度的測量流程：首先是要將基座的平面按照一定的規格進行平分，然后在選取其中的九個點進行測量，這種等距離標記的方式可以保障測量的準確性；再通過相關公式運算得出測量點的直線度數值。通過反復多次的測量后，比較出直線度更高的導軌，以此導軌作為超精密toyo滑臺的主導軌，并圍繞其進行裝配。

二、導軌的裝配

確定超精密toyo滑臺的主導軌后，裝配人員需要通過重新調整測微儀探頭，以此來調解主導軌不同位置上螺栓應用的預緊力，如果測微儀顯示的數值增大，就說明螺栓預緊力需要增大，反之亦然；然后裝配人員需要利用多次測量得到的直線度數據對主導軌進行不斷調整，使主導軌的直線度可以滿足超精密toyo滑臺的裝配要求。由于主導軌的直線度還會影響副導軌的安裝，因此還需要合理的調整主導軌的直線度，為后續副導軌的裝配打下良好的基礎。

在完成了超精密toyo滑臺主導軌的裝配后，安裝人員按照自為標準的原則，在滑臺的主導軌上安裝測微儀，然后通過測微儀中顯示數值的變化，調整副導軌螺栓的預緊力，使副導軌的直線度得到提升，從而完成超精密toyo滑臺的裝配。